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      氣體泄漏探測器(半導體材料氣體)

      氣體泄漏探測器(半導體材料氣體)

      更新時間:2024-05-31

      訪問量:1565

      廠商性質:代理商

      生產地址:

      簡要描述:
      特點:
      只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
      用盒式傳感器單元無需進行檢測器校正
      大幅度削減成本和維護時間

      對象氣體 砷化三氫AsH3、 磷化氫PH3、 乙硼烷B2H6、 硅烷SiH4、 氫氣H2 等半導體材料氣體

      型號
      XPS-7

      檢測原理
      定電位電解式

      檢測氣體對象
      臭氧

      檢測范圍
      0~10ppm

      分辨率
      0.01ppm

      指示精度
      FS±10%以內

      報警模式
      2段報警方式

      報警方式
      蜂鳴器(間歇音)、報警燈閃爍

      應答時間
      60秒以內(60%應答)

      電源
      5號堿性干電池4節或AC專用變壓器

      電池使用時間
      連續12小時以上

      外型尺寸
      W762×H150×D128(除去突起物)

      檢測方式
      泵吸式

      使用溫度范圍
      0℃~40℃

      重量
      約1.3kg

      附件
      肩背皮帶、5號堿性干電池4節、過濾紙兩張

      選購件
      AC專用變壓器、傳感器專用通電臺、數據收集配套元件

       

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      檢測氣體一覽表:


      XPS-7對象氣體一覽表
      型號
      氣體
      F.S
      型號
      氣體
      F.S
      型號
      氣體
      F.S

      XPS-7NH
      NH3
      100ppm
      XPS-7GH
      GeH4
      1ppm
      XPS-7HS
      H2S
      50ppm

      XPS-7SH
      SiH4
      25ppm
      XPS-7CL
      CL2
      5ppm
      XPS-7CO
      CO
      250ppm

      XPS-7DC
      SiH2CL2
      25ppm
      XPS-7CF
      CLF3
      1ppm
      XPS-7DS
      Si2H6
      25ppm

      XPS-7AS
      AsH3
      250ppm
      XPS-7HC
      HCL
      25ppm
      XPS-7F2
      F2
      5ppm

      XPS-7PH
      PH3
      1ppm
      XPS-7HF
      HF
      10ppm
      XPS-7OZ
      O3
      1ppm

      XPS-7BH
      B2H6
      500ppm
      XPS-7HB
      HBr
      10ppm


      XPS-7SE
      H2Se
      250ppm
      XPS-7NO
      NO
      100ppm

       

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